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  HF無油分子泵機組
	

  

  

    
             
        

  

     


概述



  

     

用途
HF無油分子泵機組是由各性能分子泵、無油泵、通斷放氣閥、前級管路、斷水保護器、分子泵電源、控制電源等組裝而成的清潔超高真空獲得設備。安裝方便，操作簡單，易于連接，性能可靠?？蓮V泛應用于表面分析、加速器技術、半導體設備，等離子技術、電真空器件的制造及真空技術各領域。

應用領域
分析儀器；氣相分析；電子顯微鏡；檢漏儀等。

工作應用
    顯像管領域；光盤制造；鍍膜行業；電子束焊接設備；ITO生產線；OLED生產線、幕墻玻璃生產線；離子刻蝕；半導體制造工業；真空爐；真空輸送；照明燈生產工業；食品包裝；電真空工業等。

科研領域
高能物理、表面物理、科研儀器、空間研究等真空技術領域。


     
  




主要性能參數






型號參數
HFP100/110
HFP160/620
HFP200/1200



高真空法蘭
DN100LF
DN100CF
DN160LF
DN150CF
DN200LF
DN200CF



抽氣速率(L/S)
110
450
1200



壓縮比(N2)
<10
<10
<10



壓縮比(H2)
5*10
10
6*10



極限壓強(Pa)
6*10-5
6*10-5
6*10-5
6*10-5
6*10-5
6*10-5



輸入電壓頻率(V/HZ)
380±20/50±1
380±20/50±1
380±20/50±1



冷卻水壓力(Kg.cm)
0.5-1
0.5-1
0.5-1



前級泵型號
HF-8
HF-15
HF-30

  


 
        
    

  








 
	
    

  

    
  

  

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