概述
高真空油擴散泵機組是以高真空油擴散泵為主泵的一套完整的抽氣系統,機組可直接接入與機組相適的被抽容器,使被抽容器獲得高真空狀態。高真空油擴散泵機組被廣泛的應用于電子、冶金、原子能工程及空間模擬等領域。
主要性能參數
型號 |
極限壓力Pa |
抽速L/S |
主泵加熱功率KW |
主機型號 |
配用的擋板 |
配用的高真空閥(氣、電動閥) |
配用的前級泵 |
進氣口直徑D |
D1 |
N-∮1 |
中心高 尺寸 |
JK-200T |
5×10-4 |
600 |
1.8 |
K-200T |
SB-200 |
GF-200 |
GDD-J200 |
GDQ-J200 |
2×-15 |
200 |
250 |
8-∮12 |
940 |
JK-300T |
1400 |
3 |
K-300T |
SB-300 |
GF-300 |
GDD-J300 |
GDQ-J300 |
2×-30 |
300 |
350 |
8-∮14 |
1160 |
JK-320TD |
1500 |
4 |
K-320TD |
內藏式 |
? |
GDD-J320 |
GDQ-J320 |
2×-30 |
320 |
395 |
12-∮14 |
1340 |
JK-400T |
2600 |
4.5 |
K-400T |
SB-400 |
? |
GDD-J400 |
GDQ-J400 |
2×-70 |
400 |
465 |
8-∮18 |
1500 |
JK-500TD |
3800 |
6.9 |
K-500TD |
內藏式 |
? |
GDD-J500 |
GDQ-J500 |
2×-70 |
500 |
580 |
16-∮14 |
1700 |
JK-600T |
5600 |
8.4 |
K-600T |
SB-600 |
? |
GDD-J600 |
GDQ-J600 |
2H-70 |
600 |
670 |
12-∮21 |
2030 |
JK-800 |
7560 |
8.4 |
K-800 |
SB-800 |
? |
? |
GDQ-J800 |
2H-70(2臺) |
800 |
880 |
20-∮21 |
2280 |
JK-800TD |
8600 |
15 |
K-800TD |
內藏式 |
? |
? |
GDQ-J800 |
2H-150(2臺) |
800 |
880 |
20-∮21 |
2414 |
JK-1000TD |
13000 |
24 |
K-1000TD |
內藏式 |
? |
? |
GDQ-J1000 |
2H-150(2臺) |
1000 |
1090 |
24-∮23 |
2915 |
JK-1200 |
16000 |
24 |
K-1200 |
SB-1200 |
? |
? |
GDQ-J1200 |
2H-150(2臺) |
1200 |
1310 |
28-∮25 |
3582 |
泵實際抽速-進氣壓力曲線
注意:由于產品不斷更新,如產品外觀和結構與實物不一致時,應遵循雙方技術協議和合同,不再另行通知。 |